AUM-10

超精密微細加工機 AUM-10
完全シンメトリック構造!
形状加工精度1μmの超精密微細加工に対応した高精度機

FEATURES

主な特徴

加工精度±1μm以下の超精密微細加工を実現
XY軸のNC補間コンタリング加工では真円度1μm以下を実現(実績値)
3軸リニアモーターを装備、1nm分解能のスケールフィードバック制御
熱変位の影響が少ない高い剛性と規則性、復元性を確保するシンメトリック構造
標準で4万回転の主軸を装備。ビルトインモータースピンドル
同一工具の繰り返し交換精度は±1μmレベル(突き出し10mmの実測値)
空気静圧ロータリーテーブル(オプション)が装備でき、その回転精度は60ナノレベルです。
同クラスの微細加工機では低価格を実現
タッチプローブによる機内計測(オプション)

USAGE

用途

光学・半導体小型金型、超精密微細加工部品、超精密微細研削加工部品

SPECIFICATION

仕様

各軸移動量（X/Y/Z）	100/180/130mm
テーブル寸法	235×210mm
最小設定単位	X.Y.Z軸：10nm
主　軸	回転速度	40,000min-1
	モーター	ビルトインモーター
	砥石ホルダー	HSK-E25
	潤滑方式	オイルエアー
工具交換装置	工具収納本数　6本
機械大きさ（幅x奥x高）	1,580×1,090×2,300mm
機械重量	3,500kg
NC装置	FANUC　32i-model　B　Plus