ナノレベルの機械精度をそのままダイヤモンド工具へ転写研磨させる
ことを目的に開発された超精密ダイヤモンド工具研削盤（研磨盤）です。
XY軸には磁力をキャンセルした対向配列のリニアモーター、１ナノスケールと温度 制御された液体を機械内部へ循環させることでナノ精度のダイヤモンド工具を 実現しています。
製作可能輪郭精度10μｍ、最小ノーズアールはR5μｍ

10ナノステップの機械指令で微細研削を行い、C軸（水平回転軸）は空気静圧DD モーターの独自構造でナノレベルの回転精度が得られています。
砥石スピンドルには超精密空気静圧軸受主軸(モータービルトイン）を搭載。
振動のない高い回転精度を実現！
ABICOスコープ（オプション）で機上でダイヤモンド工具の形状検査が可能です。
ワークの形状、チッピング（欠け）等が鮮明に観測でき、サブマイクロレベルの欠陥が観察できます。
セルフ研磨装置を搭載できスカイフ版の面振れはサブマイクロレベルに修正できます。