MB-20

ダイヤモンド工具研磨機シリーズ MB-20
機械精度をナノレベルまで向上させた
超精密ダイヤモンド工具研削盤

FEATURES

主な特徴

ナノレベルの機械精度をそのままダイヤモンド工具へ転写研磨させることを目的に開発された超精密ダイヤモンド工具研削盤（研磨機）です。
XY軸には磁力をキャンセルした対向配列のリニアモーター、１ナノスケールと温度制御された液体を機械内部へ循環させることでナノ精度のダイヤモンド工具を実現しています。
製作可能輪郭精度10μｍ、最小ノーズアールはR5μｍ

10ナノステップの機械指令で微細研削を行い、C軸（水平回転軸）は空気静圧DD モーターの独自構造でナノレベルの回転精度を実現しています。
砥石スピンドルには超精密空気静圧軸受主軸(モータービルトイン）を搭載し、振動のない高い回転精度を実現しています。
セルフ研磨装置により、スカイフ盤の面振れ精度はサブマイクロです。

USAGE

用途

単結晶ダイヤモンド(天然、人造、CVD)PCD、CBN、多結晶ナノダイヤ(NPD)の研磨

SPECIFICATION

仕様

各軸移動量(X/Y/Z)	300/250/280mm
(A/C/V)	360deg/220deg/35deg
最小設定単位	X.Y.Z軸：10nm　A.C軸：0.0001deg　V軸:0.001deg
電動機	主軸	空気静圧ビルトインモータ
	C軸	空気静圧DDモータ
	X.Y軸	リニアモータ
機械大きさ（幅x奥x高）	1,590×1,730×2,420mm
機械重量	4,500kg
NC装置	FANUC　31i-Model B